اخبار شرکت کارتریج های فیلتر نیمه هادی: رسانه های کلیدی فیلتر، الزامات دقیق و روندهای آینده

کارتریج فیلتر نیمه هادی یک عنصر فیلتراسیون با خلوص بالا است که در ساخت نیمه هادی ها و فرآیندهای الکترونیکی مرتبط استفاده می شود. برخلاف فیلترهای صنعتی استاندارد، فیلترهای نیمه هادی نه تنها برای حذف ذرات، بلکه برای کاهش خطرات آلودگی ناشی از مواد قابل استخراج، یون های فلزی، باقی مانده های آلی، الیاف و ریزش مواد طراحی شده اند.

در تولید نیمه هادی، حتی ذرات بسیار کوچک یا آلاینده های کمیاب ممکن است بر عملکرد ویفر، تمیزی سطح و پایداری فرآیند تأثیر بگذارند. بنابراین، فیلتراسیون بخشی ضروری از کنترل آلودگی در مواد شیمیایی فرآیند مرطوب، آب فوق خالص، مقاوم به نور، دوغاب CMP، حلال‌ها، گازها و سایر سیستم‌های با خلوص بالا است.

Pullner راه حل های کارتریج فیلتر را برای کاربردهای با خلوص بالا و برنامه های مرتبط با نیمه هادی ها ارائه می دهد و به مشتریان کمک می کند مواد فیلتر مناسب، دقت فیلتراسیون، ساختار و انواع اتصال را مطابق با شرایط فرآیند واقعی انتخاب کنند.

انتخاب مواد یکی از مهمترین عوامل در فیلتراسیون نیمه هادی است. مواد شیمیایی مختلف، دما، سرعت جریان و نیازهای تمیزی نیاز به فیلترهای مختلف دارند.

• کارتریج فیلتر PTFEبه طور گسترده ای برای مواد شیمیایی تهاجمی، حلال های آلی، گازهای با خلوص بالا و محیط های اسیدی یا قلیایی قوی استفاده می شود. PTFE دارای مقاومت شیمیایی عالی است و برای بسیاری از فرآیندهای نیمه هادی های سخت مناسب است.
• کارتریج فیلتر PFAاغلب برای فیلتراسیون شیمیایی با خلوص بالا انتخاب می شوند که در آن سازگاری شیمیایی عالی، خطر آلودگی کم و پایداری مواد قوی مورد نیاز است. PFA معمولاً در تحویل مواد شیمیایی خورنده و کاربردهای فرآیند مرطوب بالا استفاده می شود.
• 
• کارتریج فیلتر UPEبه دلیل قابلیت استخراج کم، تمیزی خوب و عملکرد حذف ذرات پایدار، به طور گسترده در فیلتراسیون شیمیایی الکترونیکی استفاده می شود. فیلترهای UPE اغلب برای مواد شیمیایی با خلوص بالا، حلال ها و برخی مایعات فرآیند پیشرفته استفاده می شوند.
• کارتریج های فیلتر PESمعمولا در آب فوق خالص، آب DI و برخی از فرآیندهای فیلتراسیون آبی استفاده می شود. غشاهای PES عملکرد جریان خوب و راندمان فیلتراسیون پایدار را در سیستم های مبتنی بر آب ارائه می دهند.
• کارتریج فیلتر PPبرای پیش فیلتراسیون، فیلتراسیون شیمیایی عمومی و برخی از سیالات فرآیندی کمتر تهاجمی مناسب هستند. فیلترهای PP مقرون به صرفه هستند و می توانند برای محافظت از فیلترهای پایین دستی با دقت بالا استفاده شوند.

در بسیاری از سیستم های نیمه هادی، فیلترها به تنهایی مورد استفاده قرار نمی گیرند. یک طرح فیلتراسیون معقول ممکن است فیلترهای پیش فیلتر، فیلترهای میانی و فیلترهای نهایی را برای کاهش بار ذرات، محافظت از فیلترهای نهایی گران قیمت و حفظ عملکرد فرآیند پایدار ترکیب کند.

دقت فیلتراسیون کارتریج های فیلتر نیمه هادی معمولاً بسیار سخت تر از فیلتراسیون عمومی صنعتی است. بسته به فرآیند، درجه بندی فیلترها ممکن است از سطح میکرون تا سطح زیر میکرون، مانند 0.45 میکرومتر، 0.2 میکرومتر، 0.1 میکرومتر، 0.05 میکرومتر یا حتی ریزتر باشد.

با این حال، انتخاب یک فیلتر نیمه هادی تنها به انتخاب یک درجه میکرون کوچکتر نیست. فیلتری که خیلی ریز است ممکن است باعث افت فشار بیش از حد، سرعت جریان ناکافی یا کاهش عمر مفید شود. فیلتری که خیلی درشت است ممکن است کنترل ذرات کافی را نداشته باشد.

شاخص های مهم عملکرد عبارتند از:

• راندمان حذف ذرات
• افت فشار و پایداری جریان.
• ظرفیت نگهداری خاک
• سازگاری شیمیایی
• قابلیت استخراج کم و انتشار کم یون فلز.
• ریزش ذرات کم
• قوام دسته ای.
• کیفیت ساخت و بسته بندی تمیز.

برای کاربردهای با خلوص بالا، فیلترهای دارای امتیاز مطلق اغلب ترجیح داده می شوند زیرا عملکرد حفظ ذرات قابل اطمینان تری را ارائه می دهند. علاوه بر این، مشتریان نیمه هادی ممکن است به داده های آزمایش، قابلیت ردیابی، عملکرد شستشو و سازگاری با مواد شیمیایی خاص توجه کنند.

برای مشتریان نیمه هادی، مناسب ترین فیلتر همیشه گران ترین یا بهترین فیلتر نیست. انتخاب صحیح باید بر اساس الزامات فرآیند واقعی باشد.

• اولین نگرانی سازگاری شیمیایی است. مواد فیلتر باید در برابر مایع یا گاز فرآیند بدون تورم، تغییر شکل، تخریب، یا انتشار آلاینده مقاومت کند.
• دغدغه دوم نظافت است. فیلترهای نیمه هادی باید قابلیت استخراج کم، ریزش ذرات کم و عملکرد شستشوی پایدار داشته باشند.
• نگرانی سوم راندمان فیلتراسیون است. فیلتر باید ذرات هدف را به طور موثر حذف کند و در عین حال جریان مناسب را حفظ کند.
• نگرانی چهارم افت فشار است. اگر افت فشار خیلی زیاد باشد، ممکن است بر پایداری تحویل شیمیایی تأثیر بگذارد و بار سیستم را افزایش دهد.
• نگرانی پنجم عمر سرویس است. یک سیستم فیلتراسیون خوب طراحی شده باید عملکرد فیلتراسیون و فرکانس تعویض را متعادل کند.
• دغدغه ششم آب بندی و نوع اتصال است. اتصالات انتهایی متداول شامل DOE، SOE، 222، 226، انتهای باله، انتهای صاف و رابط های سفارشی شده است. مهر و موم ضعیف ممکن است باعث نشتی بای پس شود که در فیلتراسیون با خلوص بالا غیر قابل قبول است.
• نگرانی هفتم ثبات دسته ای است. تولید نیمه هادی نیاز به عملکرد ثابت فیلتر از دسته ای به دسته دیگر دارد.

با ادامه حرکت تولید نیمه هادی به سمت اندازه ویژگی های کوچکتر و یکپارچگی بالاتر، الزامات کنترل آلودگی سخت تر می شود. این امر الزامات فنی بالاتری را برای کارتریج های فیلتر نیمه هادی ایجاد می کند.

در آینده، فیلتراسیون نیمه هادی به چندین جهت توسعه خواهد یافت.

• اولاً، فیلترها به راندمان حذف ذرات بالاتر در اندازه ذرات ریزتر نیاز دارند. فرآیندهای تولید پیشرفته نیازمند کنترل قوی‌تر آلودگی‌های زیر میکرونی و نانومقیاس هستند.
• دوم، قابلیت استخراج کم و انتشار کم یون فلز اهمیت فزاینده ای پیدا می کند. مواد فیلتر و فرآیندهای تولید باید تمیزتر و پایدارتر باشند.
• سوم، سازگاری شیمیایی یک تمرکز کلیدی باقی خواهد ماند. همانطور که مواد شیمیایی فرآیند مرطوب پیچیده تر می شوند، مواد فیلتر مانند PTFE، PFA و UPE همچنان نقش مهمی ایفا می کنند.
• چهارم، راه حل های فیلتراسیون سفارشی رایج تر خواهند شد. مشتریان مختلف ممکن است سیستم های شیمیایی، نرخ جریان، طراحی مسکن و اهداف فرآیند متفاوتی داشته باشند. فیلترهای استاندارد ممکن است همیشه همه نیازها را برآورده نکنند.
• پنجم، جایگزینی محلی و بهینه سازی هزینه برای بسیاری از مشتریان مهم خواهد بود. در حالی که مارک های بین المللی به طور گسترده در فیلتراسیون با خلوص بالا مورد استفاده قرار می گیرند، مشتریان بیشتری به دنبال جایگزین های قابل اعتمادی هستند که می توانند الزامات فنی را برآورده کنند و در عین حال هزینه عملیاتی طولانی مدت را کاهش دهند.
• 

Pullner راه حل های کارتریج فیلتر را برای کاربردهای مرتبط با نیمه هادی ها، از جمله مواد شیمیایی با خلوص بالا، آب فوق خالص، حلال ها، گازها، پیش فیلتراسیون دوغاب CMP و مایعات فرآیند الکترونیکی ارائه می دهد.

مواد موجود عبارتند از PTFE، PFA، UPE، PES، PP، نایلون، PVDF و سایر رسانه های فیلتر با توجه به الزامات برنامه. Pullner می تواند از انتخاب فیلتر بر اساس مایع فرآیند، دقت فیلتراسیون، سرعت جریان، فشار عملیاتی، دما، مدل فیلتر موجود، نقشه ها یا نمونه ها پشتیبانی کند.

برای مشتریانی که با آلودگی ذرات، طول عمر فیلتر کوتاه، هزینه تعویض بالا، تعویض فیلتر وارداتی یا عملکرد فیلتراسیون ناپایدار مواجه هستند، Pullner می تواند به تجزیه و تحلیل فرآیند کمک کرده و یک راه حل فیلتر مناسب را توصیه کند.

کارتریج های فیلتر نیمه هادی اجزای حیاتی در سیستم های تولید با خلوص بالا هستند. ارزش آنها به حذف ذرات محدود نمی شود. آنها همچنین به کنترل آلودگی، محافظت از ابزارهای فرآیند، بهبود پایداری تولید و پشتیبانی از بازده محصول کمک می کنند.

هنگام انتخاب فیلترهای نیمه هادی، مشتریان باید رسانه های فیلتراسیون، رتبه بندی میکرون، سازگاری شیمیایی، تمیزی، افت فشار، عمر مفید و طراحی سیستم را با هم در نظر بگیرند.

Pullner متعهد به ارائه راه حل های قابل اعتماد، مقرون به صرفه و سفارشی کارتریج فیلتر نیمه هادی برای مشتریان جهانی است.

برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد کارتریج های فیلتر نیمه هادی پولنر و محلول های فیلتراسیون با خلوص بالا، لطفاً به سایت مراجعه کنید.www.pullnerfilter.com.