در تولید نیمه هادی، حتی ذرات بسیار کوچک، ژل ها، یون های فلزی یا آلاینده های آلی ممکن است بر عملکرد ویفر و پایداری فرآیند تأثیر بگذارند. بنابراین، فیلتراسیون نه تنها یک فرآیند جداسازی ساده است، بلکه بخش مهمی از کنترل آلودگی در محیط های تولید با خلوص بالا است.
![]()
Pullner کارتریج های فیلتر نیمه هادی را ارائه می دهد که برای کاربردهای سخت مانند مواد شیمیایی فرآیند مرطوب، مقاوم در برابر نور، توسعه دهندگان، حلال ها، دوغاب CMP، آب فوق خالص و فیلتراسیون گاز با خلوص بالا طراحی شده اند. این فیلترها به مشتریان کمک می کند تا تمیزی فرآیند را بهبود بخشند، از تجهیزات پایین دستی محافظت کنند و عملکرد تولید پایدار را حفظ کنند.
یک کارتریج فیلتر نیمه هادی معمولی از چندین بخش کلیدی تشکیل شده است، از جمله:
غشاء مهمترین لایه فیلتراسیون است که وظیفه حذف ذرات و آلاینده ها از مایع یا گاز را بر عهده دارد. مواد غشایی رایج عبارتند از:
هر کدام برای شرایط شیمیایی مختلف مناسب است. به عنوان مثال، PTFE و PFA اغلب برای مواد شیمیایی و حلال های تهاجمی استفاده می شوند، در حالی که UPE به دلیل قابلیت استخراج کم و تمیزی عالی، به طور گسترده در فیلتراسیون شیمیایی با خلوص بالا استفاده می شود.
لایه های پشتیبانی و زهکشی به حفظ جریان پایدار و کاهش افت فشار در حین کار کمک می کند. هسته داخلی و قفس بیرونی استحکام مکانیکی را فراهم می کند و به کارتریج فیلتر اجازه می دهد تا تحت شرایط فشار و جریان خاص به طور قابل اعتماد کار کند. درپوشهای انتهایی و طراحی آببندی، نصب صحیح را تضمین میکنند و به جلوگیری از نشتی بایپس کمک میکنند، که به ویژه در فرآیندهای نیمهرسانا با خلوص بالا مهم است.
اهداف اصلی فیلتراسیون کارتریج های فیلتر نیمه هادی عبارتند از:
در فرآیند مرطوب و فیلتراسیون شیمیایی الکترونیکی، از فیلترها برای حذف ذرات ریز که ممکن است باعث ایجاد نقص در سطوح ویفر شوند، استفاده می شود. در سیستم های آب فوق خالص، فیلترها به حفظ پاکیزگی آب و محافظت از تجهیزات حساس فرآیند کمک می کنند. در فیلتراسیون گاز، از فیلترهای با راندمان بالا برای کنترل ذرات معلق در هوا و اطمینان از تحویل گاز تمیز استفاده می شود.
![]()
در مقایسه با فیلترهای صنعتی معمولی، فیلترهای درجه نیمه هادی به تمیزی بالاتر، سازگاری شیمیایی بهتر، خطر آلودگی کمتر و قوام دسته ای پایدارتر نیاز دارند. Pullner بر انتخاب مواد، طراحی ساختاری، تولید تمیز و کنترل کیفیت برای ارائه راه حل های فیلتراسیون قابل اعتماد برای کاربردهای با خلوص بالا تمرکز می کند.
برای مشتریانی که به دنبال جایگزین هایی برای مارک های بین المللی فیلتر هستند، Pullner می تواند از انتخاب بر اساس شماره قطعات، نقشه های فنی، نمونه ها یا شرایط کاری واقعی پشتیبانی کند. ما میتوانیم با تأیید ابعاد، تطبیق مواد، آزمایش نمونه و عرضه انبوه پس از صلاحیت کمک کنیم.
چه کاربرد شما فیلتر شیمیایی با خلوص بالا، تصفیه آب فوق خالص، فیلتراسیون دوغاب CMP یا فیلتراسیون گاز باشد، Pullner آماده ارائه راه حل های حرفه ای، مقرون به صرفه و سفارشی فیلتراسیون نیمه هادی است.
برای کسب اطلاعات بیشتر در مورد کارتریج های فیلتر نیمه هادی پولنر، لطفاً مراجعه کنیدwww.pullnerfilter.comیا برای پشتیبانی فنی و انتخاب محصول با ما تماس بگیرید.
تماس با شخص: Miss. Lucy
تلفن: 86-21-57718597
فکس: 86-021-57711314