اخبار شرکت کارتریج فیلتر دوغاب CMP برای تولید نیمه هادی

کارتریج فیلتر دوغاب CMP یک عنصر فیلتراسیون با کارایی بالا است که در فرآیند پرداخت مکانیکی شیمیایی در ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود. دوغاب CMP معمولاً حاوی ذرات ساینده، افزودنی های شیمیایی، اکسید کننده ها، تثبیت کننده ها و سایر اجزای عملکردی است. هدف آن دستیابی به حذف کنترل شده مواد و مسطح شدن سطح روی ویفرها است.

در مقایسه با آب فوق خالص یا فیلتراسیون شیمیایی عمومی، فیلتراسیون دوغاب CMP پیچیده تر است. فیلتر باید ذرات بزرگ، آگلومره ها، ژل ها و آلودگی ها را بدون حذف ذرات ساینده مفیدی که برای عملکرد پولیش مورد نیاز است، حذف کند.

بنابراین، فیلتراسیون CMP صرفاً در مورد انتخاب کوچکترین درجه میکرون نیست. یک کارتریج فیلتر CMP مناسب باید کنترل ذرات، پایداری دوغاب، عملکرد جریان، افت فشار و سازگاری فرآیند را متعادل کند.

در فرآیندهای CMP، توزیع اندازه ذرات ارتباط نزدیکی با کیفیت پرداخت دارد. اگر ذرات یا آگلومره های بزرگ وارد سیستم پولیش شوند، ممکن است باعث خراش ویفر، نقص سطح، سرعت حذف ناپایدار یا کاهش عملکرد شوند.

در عین حال، اگر فیلتر خیلی سفت باشد یا برای دوغاب مناسب نباشد، ممکن است ذرات ساینده مفید را حذف کند، خواص دوغاب را تغییر دهد، افت فشار را افزایش دهد یا عمر مفید فیلتر را کوتاه کند.

اهداف اصلی فیلتراسیون دوغاب CMP عبارتند از:

• حذف ذرات و آگلومراهای بزرگ.
• کاهش خطر خراش در هنگام پرداخت ویفر.
• حفظ توزیع پایدار ذرات دوغاب.
• محافظت از پمپ های پایین دست، شیرها، نازل ها و ابزار پولیش.
• پشتیبانی از عملکرد پولیش مداوم و ثبات فرآیند.

انتخاب مواد فیلتر به شیمی دوغاب، نوع ساینده، مقدار pH، اجزای اکسید کننده، سرعت جریان و نیاز به تمیزی بستگی دارد.

• کارتریج فیلتر UPE معمولاً در دوغاب با خلوص بالا و فیلتراسیون شیمیایی الکترونیکی به دلیل قابلیت استخراج کم، تمیزی خوب و عملکرد حفظ ذرات پایدار استفاده می شوند.
• کارتریج فیلتر PP می تواند برای پیش فیلتراسیون دوغاب یا سیستم های دوغاب کمتر تهاجمی استفاده شود. مواد PP کنترل هزینه خوبی و سازگاری گسترده را در بسیاری از کاربردهای مایع صنعتی و الکترونیکی فراهم می کنند.
• کارتریج های فیلتر PESممکن است برای کاربردهای خاصی از دوغاب مبتنی بر آب انتخاب شود که در آن عملکرد جریان خوب و راندمان فیلتراسیون پایدار مورد نیاز است.
• کارتریج فیلتر PTFE را می توان برای محیط های شیمیایی ویژه ای در نظر گرفت که به مقاومت شیمیایی قوی تری نیاز دارند.

در کاربردهای CMP واقعی، رسانه فیلتر، لایه پشتیبانی، هسته، قفس، درپوش انتهایی و مواد آب بندی باید با هم ارزیابی شوند تا از مشکلات سازگاری یا آلودگی ثانویه جلوگیری شود.

دقت فیلتراسیون دوغاب CMP به نوع دوغاب و هدف فرآیند بستگی دارد. فرآیندهای مختلف CMP ممکن است به سطوح مختلف فیلتراسیون نیاز داشته باشند. برخی از کاربردها بر حذف ذرات بزرگ و آگلومره ها تمرکز دارند، در حالی که برخی دیگر نیاز به کنترل دقیق آلاینده های زیر میکرونی دارند.

با این حال، اندازه منافذ کوچکتر همیشه بهتر نیست. اگر فیلتر بیش از حد ذرات ساینده معمولی را حفظ کند، ممکن است غلظت ذرات موثر دوغاب را تغییر دهد و بر عملکرد پولیش تأثیر بگذارد. اگر فیلتر خیلی باز باشد، ذرات بزرگ ممکن است از آن عبور کنند و خطر خراش را افزایش دهند.

به همین دلیل، انتخاب فیلتر CMP باید هم رتبه فیلتراسیون و هم رفتار واقعی دوغاب، از جمله توزیع اندازه ذرات، ویسکوزیته، سرعت جریان، افت فشار و طول عمر فیلتر را در نظر بگیرد.

کارتریج های فیلتر CMP را می توان در نقاط مختلف سیستم تامین دوغاب استفاده کرد.

• فیلتراسیون تولید دوغاب
  در طول تولید یا آماده سازی دوغاب برای حذف ذرات بزرگ ناخواسته و بهبود قوام محصول استفاده می شود.
• فیلتراسیون حلقه توزیع
  در سیستم های گردش دوغاب برای کنترل ذرات تولید شده در حین ذخیره سازی، پمپاژ یا حمل و نقل استفاده می شود.
• فیلتراسیون نقطه استفاده
  نصب شده نزدیک به ابزارهای CMP برای کنترل نهایی ذرات قبل از رسیدن دوغاب به پد پولیش یا سطح ویفر.
• فیلتر حفاظتی سمت ابزار
  برای محافظت از نازل ها، دریچه ها و خطوط تحویل در برابر انسداد ناشی از آگلومراها یا بقایای فرآیند استفاده می شود.

یک سیستم فیلتراسیون با طراحی خوب ممکن است از فیلتراسیون مرحله‌ای برای کاهش تدریجی بار ذرات و محافظت از فیلترهای نهایی با دقت بالا استفاده کند.

فیلتراسیون CMP نیاز به ارزیابی دقیق عملکرد فیلتر و پایداری دوغاب دارد.

• اولین نگرانی کنترل ذرات است. فیلتر باید به طور موثر ذرات و آگلومراهای بزرگ را که ممکن است باعث نقص ویفر شوند حذف کند.
• نگرانی دوم سازگاری دوغاب است. فیلتر نباید به طور قابل توجهی توزیع ذرات ساینده مفید را تغییر دهد.
• نگرانی سوم افت فشار است. افت فشار بیش از حد ممکن است بر پایداری تحویل دوغاب تأثیر بگذارد و بار سیستم را افزایش دهد.
• نگرانی چهارم سازگاری شیمیایی است. مواد فیلتر باید با شیمی دوغاب و شرایط عملیاتی مطابقت داشته باشد.
• دغدغه پنجم نظافت است. قابلیت استخراج کم، ریزش ذرات کم و تولید تمیز برای کاربردهای نیمه هادی مهم هستند.
• نگرانی ششم عمر سرویس است. فیلتر باید عملکرد پایدار را بدون انسداد مکرر یا تعویض زودرس ارائه دهد.
• نگرانی هفتم، قابلیت اطمینان آب بندی است. هر گونه نشتی بای پس ممکن است اثربخشی فیلتراسیون را کاهش دهد و خطر فرآیند را افزایش دهد.

Pullner محلول های کارتریج فیلتر را برای فیلتراسیون دوغاب CMP و کاربردهای با خلوص بالا مرتبط با نیمه هادی ها ارائه می دهد. رسانه های فیلتر موجود شامل UPE، PP، PES، PTFE، نایلون، PVDF، و مواد دیگر با توجه به نیازهای فرآیند مختلف است.

Pullner می تواند مشتریان را در انتخاب فیلترهای CMP مناسب بر اساس نوع دوغاب، موقعیت فیلتراسیون، سرعت جریان، فشار، دما، هدف کنترل ذرات، مدل فیلتر موجود، نقشه ها یا نمونه ها پشتیبانی کند.

برای مشتریانی که با آلودگی ذرات دوغاب، افت فشار بالا، طول عمر کوتاه فیلتر، عملکرد پولیش ناپایدار، یا نیاز به تعویض فیلتر وارداتی مواجه هستند، Pullner می تواند به تجزیه و تحلیل وضعیت کار کمک کرده و یک راه حل فیلتر مناسب را توصیه کند.

کارتریج های فیلتر دوغاب CMP نقش مهمی در فرآیندهای پرداخت نیمه هادی دارند. هدف آنها نه تنها حذف ذرات، بلکه حفظ پایداری دوغاب و کاهش خطرات نقص ویفر است.

یک فیلتر CMP مناسب باید حذف ذرات، سازگاری دوغاب، افت فشار، عملکرد جریان، تمیزی و عمر مفید را متعادل کند.

Pullner متعهد به ارائه راه حل های کارتریج فیلتر دوغاب CMP قابل اعتماد، مقرون به صرفه و سفارشی برای مشتریان نیمه هادی در سراسر جهان است.